MİKROSONDA çok küçük hacimde alınmış bir maddedeki elementlerin dozunu belirlemeye yarayan sonda. Günümüzde kullanılan elektronik mikrosonda, monokinetik elektron demetini, incelenecek örneğin yüzeyi üzerinde toplayan (odaklaştıran) bir elektron tabancasıdır.
Elektronların çarptığı noktada elde edilen spot, mikron kare düzeyindedir. Elektronların etkisiyle örnek içindeki elementlerin her biri, X ışını üreten bir lambanın antikatodu görevini yaparak, özel bir X ışını yayar.
Bu ışımanın şiddeti ve dalga boyu, bir tayf ölçerle analiz edilir ve ölçülür; aygıta konmuş belirli örneklerle karşılaştırılarak, incelenen maddenin ya da alaşımın bileşimi bulunur.